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多功能氦质谱检漏仪电路板克隆案例

多功能氦质谱检漏仪:
  可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。
  该检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
  技术规格:
  灵敏度: 3.0×10-11mbar.l/s
  漏率显示范围: 2 ×10-11 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He)
  达到检漏的时间(空盒时): 小于30 秒
  发射电流显示: 0.2—2mA
  检漏口对氦气的抽速: 1.3 升/秒
  启动时间: 小于5 分钟
  接口尺寸: DN 25 KF
  外观尺寸: 510×343×428mm
  重量: 56Kg
  电源:220V 50Hz

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