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小型等离子清洗机抄板与样机仿制案例

小型等离子清洗机抄板图
小型等离子清洗机抄板
 

  等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
  等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于高科技生产单位的以下场合:
  - 半导体开发
  - 集成电路开发
  - 真空电子行业
  - TEM、SEM样品及支架清洗
  - 生命科学实验
  等离子清洗/刻蚀机具有以下特点:
  - 可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。
  - 不会对操作人员的身体造成任何伤害。
  - 其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
  特点:
  * 真空舱体 φ150mm × L320 mm 水平 (5 升)
  * 不锈钢舱体
  * 40KHz 射频发生器
  * 高效针孔电极
  * 数字计时器可自动设定操作程序
  * 皮拉尼真空泵可设定重复操作
  * 铜气体管、气体流量计、 针阀
  * 使用气体流量计和针阀控制气体
  * 自动计时器控制等离子处理过程
  * 半自动控制
  * 功率可调 0-200W
  * 自动阻抗匹配
  * 自由设置参数:处理时间、功率、气体
  * 安全保护功能:真空触发、舱门锁
  * 电磁阀保护,回流油雾不能进入反应舱
  * 规格:W550 mm × H330 mm × D500 mm
  * 电源 220V/50Hz
  选装件
  * 13.56 MHz 射频发生器
  * 2.45 GHz 射频发生器
  * 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体
  注:1、一般的清洗标准配置和2级真空泵就能够满足要求。
  2、其他特殊要求需事先说明

  聚芯还可为客户提供芯片解密、设备电路板维修,元器件仿真、疑难器件与模块替换、软硬件开发等服务,欲知详情者,欢迎来电垂询!
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