小型等离子清洗机抄板与样机仿制案例

小型等离子清洗机抄板图
 

　　等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
　　等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于高科技生产单位的以下场合：
　　- 半导体开发
　　- 集成电路开发
　　- 真空电子行业
　　- TEM、SEM样品及支架清洗
　　- 生命科学实验
　　等离子清洗/刻蚀机具有以下特点：
　　- 可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。
　　- 不会对操作人员的身体造成任何伤害。
　　- 其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
　　特点：
　　* 真空舱体 φ150mm × L320 mm　水平 (5 升)
　　* 不锈钢舱体
　　* 40KHz 射频发生器
　　* 高效针孔电极
　　* 数字计时器可自动设定操作程序
　　* 皮拉尼真空泵可设定重复操作
　　* 铜气体管、气体流量计、 针阀
　　* 使用气体流量计和针阀控制气体
　　* 自动计时器控制等离子处理过程
　　* 半自动控制
　　* 功率可调 0-200W
　　* 自动阻抗匹配
　　* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
　　* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
　　* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
　　* 规格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
　　* 电源 220V/50Hz
　　选装件
　　* 13.56 MHz 射频发生器
　　* 2.45 GHz 射频发生器
　　* 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体
　　注：1、一般的清洗标准配置和2级真空泵就能够满足要求。
　　2、其他特殊要求需事先说明

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